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微電子潔凈室實例

潔凈度等級ISO等級 氣流流型 平均風(fēng)速(m/s) 單位面積送風(fēng)量(m3/m2.h) 應(yīng)用實例
2 單向流流型 0.3-0.5 / 光刻,半導(dǎo)體工藝區(qū)
3 單向流流型 0.3-0.5 / 工作區(qū),半導(dǎo)體工藝區(qū)
4 單向流流型 0.3-0.5 / 工作區(qū),多層掩膜工藝、密盤制造半導(dǎo)體服務(wù)區(qū)、動力區(qū)
 
5 單向流流型 0.2-0.5 /
6

 
非單向流流型 0.1-0.3 / 動力區(qū)、多層工藝、半導(dǎo)體服務(wù)區(qū)
 
單向流流型或非單向 / 70-160

7
 
非單向流流型 / 30-70
服務(wù)區(qū)
 
單向流流型或非單向 /  
8

 
非單向流流型 / 10-20 表面處理

 
單向流流型或非單向 /  

圖一  微電子潔凈室實例-人員凈化程序

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